- 產(chǎn)品詳情
整套設(shè)備尺寸 | 8500mm(L)×2750mm(W)×2650mm(H) |
真空室尺寸 | 1132mm(L)×1250mm(W)×1350mm(H)(可按產(chǎn)能訂制) |
水平電 極板 | 電極板16層,產(chǎn)品可放置15層 (可按產(chǎn)能訂制) |
電極板 | 標準:1100mm*980mm |
RF 等離子發(fā)生器 & 網(wǎng)絡(luò)匹配 | 額定功率:0-10KW(AE) |
過程溫度控制 | 30-90℃恒定可控 |
氣體流量控制器,擴展至 5 路氣體 | 0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美國 MKS/ SEVEN STAR) |
真空測量 | 0-10 TORR( 美國或日本) |
人機界面觸摸屏 | 可根據(jù)中國區(qū)客戶實際需求,中文界面 |
信號指示燈 | 3 色帶警報 |
真空發(fā)生系統(tǒng) | 干泵機組(臺灣 HanBell 干式真空機組,) |