- 產(chǎn)品詳情
機臺基本規(guī)格:
設(shè)備規(guī)格 | 主機規(guī)格尺寸 | 2200mm(L)x2000mm(W)x2100mm(H) |
總重量(含主機有泵浦) | ≈ 1300kg | |
功能 | 速度 | 0.1-3.5M/min |
處理寬幅 | 260mm 雙列或 500mm 單列 | |
RF 發(fā)生系統(tǒng) | 等離子 RF 發(fā)生源 | 8 個 or 10 個(每個 600W,可以選配 ) |
數(shù)字電路控制 | ||
配置 | 等離子密度監(jiān)控 | 可以選配 |
功率 / 溫度 / 轉(zhuǎn)速 / 溫度監(jiān)控 |
* 設(shè)備設(shè)計及規(guī)格可進行調(diào)整,以便提高設(shè)備性能。