- 產(chǎn)品詳情
設(shè)備尺寸 | 1850mm(L)×1850mm(W)×2780mm(H) |
真空室尺寸 | 800mm(L)×1100mm(W)×1350mm(H)(可按產(chǎn)能訂制) |
水平電 極板 | 電極板11層/13層,產(chǎn)品可放置10層/12層 |
電極板 | 標(biāo)準(zhǔn):780mm*900mm |
RF 等離子發(fā)生器 & 網(wǎng)絡(luò)匹配 | 額定功率:0-10KW(AE) |
過程溫度控制 | 30-90℃恒定可控 |
氣體流量控制器,擴(kuò)展至 5 路氣體 | 0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美國(guó) MKS/ SEVEN STAR) |
真空測(cè)量 | 0-10 TORR( 美國(guó)或日本) |
人機(jī)界面觸摸屏 | 可根據(jù)中國(guó)區(qū)客戶實(shí)際需求,中文界面 |
信號(hào)指示燈 | 3 色帶警報(bào) |
真空發(fā)生系統(tǒng) | 干泵機(jī)組(臺(tái)灣 HanBell 干式真空機(jī)組,) |