簡(jiǎn)介及特點(diǎn)
本設(shè)備根據(jù)水平式真空等離子做全自動(dòng)化設(shè)計(jì)，產(chǎn)品由自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)取放至料框內(nèi)，再進(jìn)入升降機(jī)內(nèi)進(jìn)行下一層產(chǎn)品的取放，最終將升降機(jī)內(nèi)的料框全部取放完成后，輸送車直接將升降機(jī)內(nèi)的料框整車?yán)?，另一臺(tái)輸送車將等離子腔體內(nèi)生產(chǎn)完成的產(chǎn)品料架整體拉出并移動(dòng)到暫存位，待制產(chǎn)品的輸送車將料架運(yùn)輸?shù)降入x子腔體前并將料架送入到等離子腔體內(nèi)，等離子機(jī)臺(tái)自動(dòng)關(guān)門生產(chǎn)，輸送車回暫存位，已制輸送車將料架移動(dòng)至升降機(jī)并將料架移動(dòng)到升降機(jī)內(nèi)，進(jìn)行自動(dòng)收放板動(dòng)作。
產(chǎn)品特點(diǎn)
等離子采用全自動(dòng)開關(guān)門
采用全自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)
全自動(dòng)料架運(yùn)輸車，將產(chǎn)品料架從腔體到升降機(jī)之間運(yùn)輸
料架升降機(jī)，滿足多層料框的自動(dòng)升降
進(jìn)出料自動(dòng)感應(yīng)，以防產(chǎn)品漏加工
采用PLC+工控機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。
真空檢測(cè)0-10 TORR(美國(guó)英?？?
適用多種不同尺寸產(chǎn)品
整套設(shè)備尺寸 | 8500mm(L)×2750mm(W)×2650mm(H) |
真空室尺寸 | 1132mm(L)×1250mm(W)×1350mm(H)（可按產(chǎn)能訂制） |
水平電 極板 | 電極板16層，產(chǎn)品可放置15層 （可按產(chǎn)能訂制） |
電極板 | 標(biāo)準(zhǔn)：1100mm*980mm |
RF 等離子發(fā)生器 & 網(wǎng)絡(luò)匹配 | 額定功率：0-10KW(AE) |
過(guò)程溫度控制 | 30-90℃恒定可控 |
氣體流量控制器，擴(kuò)展至 5 路氣體 | 0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美國(guó) MKS/ SEVEN STAR) |
真空測(cè)量 | 0-10 TORR( 美國(guó)或日本） |
人機(jī)界面觸摸屏 | 可根據(jù)中國(guó)區(qū)客戶實(shí)際需求，中文界面 |
信號(hào)指示燈 | 3 色帶警報(bào) |
真空發(fā)生系統(tǒng) | 干泵機(jī)組（臺(tái)灣 HanBell 干式真空機(jī)組，） |
